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氧 (氮)化物熒光粉材料以其高發(fā)光效率、可被可見(jiàn)光有效激發(fā)、穩(wěn)定性高和環(huán)境友好等諸多優(yōu)點(diǎn),在固體發(fā)光領(lǐng)域受到廣泛重視。其中,稀土摻雜的熒光粉由于表現(xiàn)出較高的發(fā)光強(qiáng)度、較高的量子效率和優(yōu)異的熱穩(wěn)定性,具有較好的應(yīng)用前景。銪(Eu)元素在化合物中存在Eu2+和Eu3+兩種價(jià)態(tài)。Eu2+發(fā)射峰位易受晶體場(chǎng)影響的,即基體或者參雜材料的改變(濃度、元素等),發(fā)射峰的強(qiáng)度會(huì)發(fā)生變化,發(fā)射中心會(huì)發(fā)生紅移或者藍(lán)移;Eu3+的發(fā)射峰是由其自身決定的,比較尖銳、峰位不受晶體場(chǎng)的影響。
閃爍晶體到底是什么?可能很多人都沒(méi)聽(tīng)過(guò)這個(gè)詞,但其實(shí),在我們的日常生活中并不陌生。閃爍體是一種當(dāng)被電離輻射激發(fā)之后會(huì)表現(xiàn)出發(fā)光特性的材料,是將高能轉(zhuǎn)換為可見(jiàn)光的一種典型光電轉(zhuǎn)換材料,可用于輻射探測(cè)和安全防護(hù),通常在應(yīng)用中將其加工成晶體,稱(chēng)為閃爍晶體。
半導(dǎo)體器件和電路制造技術(shù)飛速發(fā)展,器件特征尺寸不斷下降,而集成度不斷上升。這兩方面的變化都給失效缺陷定位和失效機(jī)理的分析帶來(lái)巨大的挑戰(zhàn)。對(duì)于半導(dǎo)體失效分析(FA)而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。微光顯微鏡其高靈敏度的偵測(cè)能力,可偵測(cè)到半導(dǎo)體組件中電子-電洞對(duì)再結(jié)合時(shí)所發(fā)射出來(lái)的光線,能偵測(cè)到的波長(zhǎng)約在350nm ~ 1100nm 左右。 它可以廣泛的應(yīng)用于偵測(cè)IC 中各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流,如: Gate oxide defects / Leakage、Latch up、ESD failure、junction Leakage等。EMMI的工作原理圖如下:
上轉(zhuǎn)換熒光材料是一類(lèi)在長(zhǎng)波長(zhǎng)光激發(fā)下能產(chǎn)生短波長(zhǎng)光的發(fā)光材料,基于這個(gè)特點(diǎn),上轉(zhuǎn)換發(fā)光材料在生物熒光標(biāo)記、太陽(yáng)能電池、紅外光電探測(cè)、激光及顯示等眾多領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用前景。稀土摻雜的上轉(zhuǎn)換發(fā)光納米材料的激發(fā)光為紅外光,且生物組織的光透過(guò)窗口處于紅外波段,這意味著能夠有實(shí)現(xiàn)熒光探針體內(nèi)發(fā)光。另外稀土摻雜的上轉(zhuǎn)換發(fā)光納米材料還具有發(fā)光靈敏性高,光穩(wěn)定性好,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,生物毒性低等優(yōu)點(diǎn)。因此,稀土摻雜的上轉(zhuǎn)換發(fā)光納米材料有望成為理想的具有應(yīng)用前景的生物熒光探針。
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,前期的全自動(dòng)晶圓缺陷檢測(cè)技術(shù)非常重要。因?yàn)樵诤蠖说纳a(chǎn)流程中,通常會(huì)有多片晶圓粘合到一起,或者把晶圓粘合到不透明的材料上。因?yàn)榘雽?dǎo)體材料對(duì)可見(jiàn)光都是不透明的,所以很難用可見(jiàn)圖像技術(shù)對(duì)粘合效果做表征或者檢測(cè)粘合表面的污染。近紅外檢測(cè)技術(shù)是在半導(dǎo)體工業(yè)的質(zhì)量監(jiān)控一項(xiàng)有前途的新技術(shù)。本文重點(diǎn)介紹近紅外成像檢測(cè)技術(shù)在MEMS工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮的重要性!