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DSR500

DSR500-LBIC微納光電流成像測試系統(tǒng)

卓立漢光經(jīng)過多年研究，推出基于振鏡顯微系統(tǒng)的LBIC 系統(tǒng)。本設備有著快速掃描，高分辨等特點，可以廣泛應用于：單晶硅、多晶硅、非晶硅、有機半導體、染料敏化等各類太陽能電池研究，也可以應用于GaN 等光電器件的研究。對光電探測器的量子效率，器件的電阻分布特征，研究太陽能電池光生電流的不均勻性，研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，以及光電材料界面，半導體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等提供可靠的分析數(shù)據(jù)。

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產(chǎn)品概述

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產(chǎn)品簡介

微納光電成像測試系統(tǒng)是一種利用顯微成像手段，通過不同波長激光進行探測，分析表征光電子器件的短路電流分布，表面缺陷，反射率等參數(shù)。并通過掃描獲得的圖像，分析各種參數(shù)的平面均勻性，為光電器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供參考。

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)描述：

激光通過掃描透鏡，掃描振鏡，成像透鏡，由顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流，光電流信號通過探針引出至電流源表，再通過軟件在軟件中讀出。掃描時，振鏡是通過電壓控制器控制光束的偏轉(zhuǎn)角度，激光的光斑在樣品的XY 方向上掃描移動，軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應的電流值，在軟件上同步描繪出光電流成像圖，顯示了樣品的電流分布。由于采用振鏡結(jié)構(gòu)，光斑移動在物鏡處是不同位置入射，而不是不同角度入射，因此可以保證入射到樣品不同位置的光斑模式不會變化

整個系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)如下圖所示：包含

■ 光源（激光器或者連續(xù)光源），
■ 顯微鏡，掃描振鏡，
■ 數(shù)字源表，
■ 探針臺和計算機軟件等。

系統(tǒng)原理結(jié)構(gòu)如下圖所示：

下圖為光斑在掃描設定不同位置模式?jīng)]有變化

產(chǎn)品特點

■ 多路激光波長可選；

■ 樣品更換方便；
■ 探針可整體位置二維移動，方便測試樣品的不同位置；
■ 樣品為靜止狀態(tài)下實現(xiàn)掃描（mapping），消除普通位移平臺模式下的震動影響。
■ 軟件可視化，可任意選取掃描范圍（測試區(qū)間位置通過框圖的方式選取，實現(xiàn)了可視范圍即掃描范圍）

應用領(lǐng)域

納米材料，二維材料，晶圓分析，探測器光電性能檢測，面陣探測器Pixel 檢測，器件電荷生成的微區(qū)特性等等

基本參數(shù)

激光器（光源）	標配532nm激光器，能量穩(wěn)定性1%@4小時可選配2路激光器用于光電流測試
顯微鏡模塊	反射式/透射式LED照明物鏡：標配（20X， WD=7.5mm）超長工作距離最大掃描范圍：260 x 200 μm （20x物鏡下）位置重復性：小于1 μm 最小掃描步長：0.2μm 步長可選范圍：0.2-30μm 激光光斑：2μm
數(shù)據(jù)采集	電流源表：Keithley 2450 測量范圍：1nA ? 1A 暗噪聲：50pA 分辨率：20fA 準確度： 0.03%
探針臺模塊	直徑65mm真空吸附卡盤探針座和樣品整體二維移動，方便樣品位置與光斑位置重合樣品位置單獨二維移動，方便同類樣品更換樣品位置移動行程25mm，分辨率5μm 探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選
軟件	光電流掃描（Mapping）：可以設定固定的電壓，逐點獲取電流值 I-V曲線掃描（Mapping）：可以設定指定的電壓區(qū)間，逐點獲取I-V曲線指定區(qū)域掃描（Mapping）
光譜響應度測試（選配）	光譜范圍200-1100nm，可以擴展到2500nm 光譜響應度曲線量子效率曲線偏壓設置功能
激光器（選項）	波長：405nm或者635nm可選，其他波長咨詢銷售能量穩(wěn)定性：小于1%@2個小時功率：10mW和30mW（可選）

軟件測試樣品圖示

電腦配置：

主機：i7，16G 內(nèi)存，256G 固態(tài)+2T 機械硬盤， 2G 獨顯；21.5 英寸電腦顯示器

軟件功能：

光斑位置移動；
選取測試區(qū)域；
實現(xiàn)監(jiān)控開關(guān)；
IV曲線參數(shù)設置；
實時顯示測試數(shù)據(jù)和測試點位置；
顯示測試進度和測試用時間；

功能：

閾值處理；局部放大，等高線顯示，三維顯示，單點測試數(shù)據(jù)顯示，導出txt，excel 數(shù)據(jù)等。

軟件功能說明：

軟件測試界面如下圖：

各部分功能介紹如下：

數(shù)據(jù)分析軟件界面如下圖所示：

該分析軟件有強大的數(shù)據(jù)處理功能，如下圖所示快捷按鈕。

功能包括：調(diào)節(jié)適配數(shù)值區(qū)域；放大選中區(qū)域；回到全部區(qū)域；等高線顯示；顯示一條直線上的信號分布，三維顯示，導出數(shù)據(jù)等。數(shù)據(jù)分析功能很多，很強大，幾乎包含常見的數(shù)據(jù)分析方法。

測試案例：

硅基探測器：有效面120X120um。

測試條件：

532nm；
1mW；
20X；

圖A, 樣品掃描區(qū)域的CCD 監(jiān)控圖，圖B, 樣品mapping 數(shù)據(jù)處理等高線圖以及三維圖。

2. 納米材料-WSe2：有效面積25X10um

測試條件：

532nm；
5mW；
20X；

圖A, 樣品監(jiān)控區(qū)域成像圖，圖B, 樣品掃描區(qū)域的CCD 監(jiān)控圖，圖C, 樣品掃描（mapping）數(shù)據(jù)處理等高線圖以及三維圖。

選型列表：

規(guī)格/型號	DSR500-LBIC	DSR500-LBIC-RDB
激光器	波長532nm，功率：30mW；穩(wěn)定性：1%@2小時
物鏡	20X@奧林巴斯，WD=7.5mm，波長范圍：350-750nm
探針臺	2個探針座
數(shù)據(jù)采集	Keithley 2450	無

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