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STS系列拉曼/熒光/光電流原位測試系統(tǒng)

基于RTS-mini顯微系統(tǒng)而搭建，集成拉曼/熒光/光電流原位測試功能，配合高精度微米電動位移臺，實現(xiàn)Raman/PL Mapping及激光誘導(dǎo)光電流成像。深度表征材料內(nèi)部分子振動能級與轉(zhuǎn)動能級結(jié)構(gòu)信息，光生載流子的生成與復(fù)合機制，器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，光電材料界面及半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。

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基于RTS-mini顯微系統(tǒng)而搭建，集成拉曼/熒光/光電流原位測試功能。該系統(tǒng)可原位探測拉曼、熒光及光電流信號。配合高精度微米電動位移臺，實現(xiàn)Raman Mapping，PL Mapping以及激光誘導(dǎo)光電流成像（LBIC)。深度表征材料內(nèi)部的分子振動能級與轉(zhuǎn)動能級結(jié)構(gòu)信息，光生載流子的生成與復(fù)合機制，器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，光電材料界面以及半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等特性。

拉曼/熒光/光電流原位測試系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

拉曼/拉曼Mapping	拉曼頻移范圍	60-6000cm-1 @532nm激光器
	共焦方式	光纖共聚焦
	高靈敏度	硅三階拉曼峰的信噪比好于20:1，并能觀察到四階峰
	空間分辨率	≤1μm@100X物鏡，NA0.9，532nm單縱模激光器
	光譜CCD探測器	分辨率≥2000x256 量子效率在700nm-870nm區(qū)間處>90%，光譜范圍：200 ~ 1100 nm
熒光/熒光壽命成像	光譜掃描范圍	200-900nm
	最小時間分辨率	16ps
	熒光壽命測量范圍	500ps-10μs
	空間分辨率	≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈沖激光器
光電流/光電流成像	激光器（光源）	標(biāo)配532nm激光器，能量穩(wěn)定性1%@4小時可選配2路激光器用于光電流測試
	數(shù)據(jù)采集	電流源表：Keithley 2450 測量范圍：1nA – 1A 暗噪聲：50pA 分辨率：20fA 準(zhǔn)確度： 0.03%




	探針臺	直徑65mm真空吸附卡盤探針座和樣品整體二維移動，方便樣品位置與光斑位置重合樣品位置單獨二維移動，方便同類樣品更換樣品位置移動行程25mm，分辨率5μm 探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選





	測試功能	光電流掃描（Mapping）：可以設(shè)定固定的電壓，逐點獲取電流值 I-V曲線掃描（Mapping）：可以設(shè)定指定的電壓區(qū)間，逐點獲取I-V曲線

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