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SD15/30.x.C系列

SD15/30.x.C系列亞納米高動(dòng)態(tài)壓電掃描臺(tái)

特點(diǎn)：
• X方向掃描運(yùn)動(dòng)15um,3 um
• 外形尺寸，62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于0.1nm
• 電容位置傳感
• 高速運(yùn)動(dòng)響應(yīng)
• 真空 (.HV)，高真空 (.UHV) 選件升級(jí)
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產(chǎn)品概述

特點(diǎn)：
• X方向掃描運(yùn)動(dòng)15um,3 um
• 外形尺寸，62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于0.1nm
• 電容位置傳感
• 高速運(yùn)動(dòng)響應(yīng)
• 真空 (.HV)，高真空 (.UHV) 選件升級(jí)
 
亞納米高動(dòng)態(tài)壓電掃描臺(tái)選型表
 

型號(hào)

SD15.x.C

SD30.x.C

運(yùn)動(dòng)方向

X方向

底面尺寸×高度（mm）

62×40×13.5

80×40×13.5

主體材料

鋁合金

自重（g）

250

350

運(yùn)動(dòng)行程（um）

15（閉環(huán)）

30 （閉環(huán)）

運(yùn)動(dòng)分辨率（nm）

0.1

0.2

運(yùn)動(dòng)可重復(fù)精度（nm）

2

4

線性誤差

優(yōu)于 0.035%

搖擺（urad）

2

俯仰（urad）

2

共振頻率（kHz）

3.3

2.2

共振頻率 (300g）（kHz）

1

0.625

剛性（N/um）

28

18

閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本）

電容式

推薦使用溫度

-20 ~ 80 °C
 
亞納米高動(dòng)態(tài)壓電掃描臺(tái)尺寸圖