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GSxx-xx.lab.O/R系列

壓電納米角位移臺

• 超安靜運動,20HZ驅動頻率
• 閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學型(.0)
• 高精度空間傳感分辨率(.0)10nm(默認);4.88nm2.44nm,lnm可選
• 經(jīng)濟型··空間傳感分辨率(R)100-200nm
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產(chǎn)品概述
特點:
• 超安靜運動,20HZ驅動頻率
• 閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學型(.0)
• 高精度空間傳感分辨率(.0)10nm(默認);4.88nm2.44nm,lnm可選
• 經(jīng)濟型··空間傳感分辨率(R)100-200nm
• 最小步伐約10 nm
• 可提供多軸堆疊安裝轉接件
• 控制器兼容旋轉臺,搖擺臺
• 高真空 (HV) 和超高真空支持無磁 (NM) 、(UHV) 選件
 
壓電納米角位移臺命名規(guī)則
壓電納米角位移臺選型表
 

型號

GS65-77.Lab.O

GS65-97.Lab.O

底面尺寸×高度(mm)

70×70×20

主體材質

默認不銹鋼(可選鋁合金、純鈦版本

自重

650g

650g

運動行程(°)

+/- 10

搖擺半徑(mm)

77

97

最大速度(°/s)

– 3

最小步伐

1 urad (0.000057°)

重復定位精度

 

 

驅動頻率

Max. 20 kHz (超安靜運動)

最大負載(g)

1000

自鎖力(N*mm)

50

驅動力矩(N*mm)

20

位置傳感類型

- 光柵尺傳感(.O )

位置傳感量程

20 °

位置傳感分辨率

0.12urad(6.7m°, 默認); 0.06urad,

0.03urad可選

0.1urad(5.4m°, 默認); 0.05urad,

0.02urad可選

 
尺寸圖