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半導(dǎo)體晶圓拉曼光譜測(cè)試系統(tǒng)

半導(dǎo)體晶圓拉曼光譜測(cè)試系統(tǒng)具有自動(dòng)對(duì)焦和實(shí)時(shí)表面跟蹤功能，無(wú)需樣品標(biāo)記，可進(jìn)行無(wú)損非接觸式測(cè)量，空間分辨率＜1μm。系統(tǒng)可以對(duì)第三代半導(dǎo)體進(jìn)行組分、應(yīng)力、載流子濃度、結(jié)晶度和缺陷進(jìn)行檢測(cè)，廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的質(zhì)量監(jiān)控、失效分析。

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半導(dǎo)體晶圓拉曼光譜測(cè)試系統(tǒng)R1——應(yīng)力、組分、載流子濃度

面向半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)的拉曼光譜測(cè)試系統(tǒng)
主要功能：

•光穿過(guò)介質(zhì)時(shí)被原子和分子散射的光發(fā)生頻率變化，該現(xiàn)象稱(chēng)為拉曼散射。

•拉曼光譜的強(qiáng)度、頻移、線寬、特征峰數(shù)目以及退偏度與分子的振動(dòng)能態(tài)、轉(zhuǎn)動(dòng)能態(tài)、對(duì)稱(chēng)性等緊密相關(guān)

•廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的質(zhì)量監(jiān)控、失效分析。

儀器架構(gòu)：

性能參數(shù)：

拉曼激發(fā)和收集模塊	激光波長(zhǎng)	532 nm
	激光功率	100 mW
	自動(dòng)對(duì)焦	•在全掃描范圍自動(dòng)聚焦和實(shí)時(shí)表面跟蹤 •對(duì)焦精度<0.2微米
	顯微鏡	•用于樣品定位和成像 •100x，半復(fù)消色差物鏡 •空間分辨率<2微米
	拉曼頻移范圍	80-9000 cm-1
樣品移動(dòng)和掃描平臺(tái)	平移臺(tái)	•掃描范圍大于300x300mm。 •最小分辨率1微米。
	樣品臺(tái)	•8寸吸氣臺(tái)（12寸可定制） •可兼容2、4、6、8寸晶圓片
光譜儀和探測(cè)器	光譜儀	•320 mm焦長(zhǎng)單色儀，接面陣探測(cè)器。 •分辨率<2.0 cm-1。
軟件	控制軟件	•可選擇區(qū)域或指定點(diǎn)位自動(dòng)進(jìn)行逐點(diǎn)光譜采集
軟件	Mapping數(shù)據(jù)分析軟件	•可對(duì)光譜峰位、峰高和半高寬等進(jìn)行擬合。 •可自動(dòng)擬合并計(jì)算應(yīng)力、晶化率、載流子濃度等信息，樣品數(shù)據(jù)庫(kù)可定制。 •將擬合結(jié)果以二維圖像方式顯示。