產(chǎn)品特性和核心技術(shù)：
激光自動聚焦：
• 自主研制的激光輔助離焦量傳感器。
• 可在無圖案晶圓上實(shí)現(xiàn)精確自動聚焦和表面跟蹤。
• 輔以圖形邊緣識別，實(shí)現(xiàn)雙模式自動調(diào)焦。
明場成像和照明系統(tǒng)
• 自主研制的小型化科勒照明系統(tǒng)。
• 照明視場均勻、無暗角，成像視場中心和邊角均有高對比度和解析度。
全自動操作：
• 全軟件控制，自動調(diào)焦、尋區(qū)、切換物鏡……。
供應(yīng)鏈國產(chǎn)可控。
性能參數(shù)：
激光自動聚焦
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物鏡
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10x，
NA=0.28
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20x，
NA=0.40
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50x，
NA=0.55
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100x，
NA=0.8
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離焦量 z 分辨率
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< 1 µm
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< 0.5 µm
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< 0.2 µm
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< 0.06 µm
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量程
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>±1.5 mm
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>±0.3 mm
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>±50 µm
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>±30 µm
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激光光斑尺寸（焦點(diǎn)處）
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~2 µm
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~2 µm
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~1 µm
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~1 µm
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測量時間（刷新頻率）
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< 20 ms (50 Hz），
可調(diào)節(jié)最高 100 Hz
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激光波長
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808 nm (<1 mW，波長可選 650 nm)
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供電
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5V，3A
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通信接口
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USB 3.0
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顯微成像
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物鏡 5x，NA=0.12 10x，NA=0.25
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20x，
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50x，
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100x，
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NA=0.40
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NA=0.55
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NA=0.9
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視野
（4:3 相 機(jī)）
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1/2”
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2.0×1.5 mm
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1.0×0.7 mm
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0.50×0.38mm
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0.20×0.15mm
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0.10×0.75mm
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2/3”
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3.0×2.3 mm
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1.5×1.1 mm
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0.76×0.57mm
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0.30×0.23mm
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0.15×0.11mm
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1”
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4.0×3.0 mm
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2.0×1.5 mm
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1.0×0.7 mm
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0.40×0.30mm
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0.20×0.15mm
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典型空間分辨率
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2 μm
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1 μm
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0.7 μm
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0.5 μm
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0.4 μm
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照明均勻性
中心/邊緣亮度比值
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< 0.64
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< 0.92
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< 0.85
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< 0.83
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< 0.87
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供電
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5V，2A
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數(shù)據(jù)接口
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USB3.0
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13810146393
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