特點(diǎn)：
• 三維度XY掃描運(yùn)動(dòng) 30 um x 30 um x15 um
• 外形尺寸，160mmx160 mmx 35 mm
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于0.3nm
• 最大負(fù)載 10 kg
• 支持高真空 (HV)和超高真空(UHV) 選件升級(jí)
選型表
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型號(hào)
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SH30.xyz.0 /.C
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運(yùn)動(dòng)方向
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X ,Y ,Z 方向
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底面尺寸×高度（mm）
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160×160×35
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主體材料
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不銹鋼
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自重（g）
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4000
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運(yùn)動(dòng)行程（um）
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30×30×15
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運(yùn)動(dòng)分辨率（nm）
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0.1(開環(huán)) 0.3(閉環(huán))
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運(yùn)動(dòng)可重復(fù)精度（閉環(huán)）（nm）
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<3
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偏擺角度（urad）
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20/ 20 / 50
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共振頻率 (空載)（Hz）
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50
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最大負(fù)載（kg）
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10
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閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本）
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電容式
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驅(qū)動(dòng)電壓（V）
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150
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推薦使用溫度
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-20 ~ 80 °C
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亞納米高負(fù)載壓電掃描臺(tái)SH30.xyz.C系列尺寸圖
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