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Free6D.3-2.150系列

壓電六軸并聯(lián)系統(tǒng)Free6D.3-2.150系列

六軸壓電并聯(lián)系統(tǒng)

產(chǎn)品咨詢(xún)

資料與圖紙

產(chǎn)品概述

產(chǎn)品概述

壓電六軸并聯(lián)系統(tǒng)Free6D.3-2.150系列選型表

型號(hào)	Free6D.3-2.150
外形尺寸（mm）	Ø150×112 mm
主體材料	不銹鋼/鋁合金
運(yùn)動(dòng)參數(shù)
行程 X, Y, Z	± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm
行程 ΘX, ΘY , ΘZ	± 10 °, ± 10 °, ± 20 °
單向重復(fù)定位精度 X, Y, Z	± 0.3 um, ± 0.3 um, ± 0.1 um
單向重復(fù)定位精度 ΘX，ΘY，ΘZ	± 5 urad, ± 5 urad, ± 5 urad
最小位移 X, Y, Z	0.1 um, 0.1 um, 0.1 um
最小位移 ΘX，ΘY，ΘZ	5 urad, 5 urad, 5 urad
位置傳感參數(shù)
集成傳感器	光學(xué)編碼器
位置傳感分辨率	- 光柵尺傳感（.O ），10 nm(默認(rèn)); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選
控制器信息
工作電壓	220 V
控制器通道	6通道輸出控制
通訊接口	USB，232，網(wǎng)口通訊
控制軟件	提供PC端使用軟件，支持labview，串口命令集控制

壓電六軸并聯(lián)系統(tǒng)Free6D.3-2.150系列尺寸圖